Sasaran tembaga

Sasaran tembaga ialah sumber sputtering pepejal yang diperbuat daripada bahan tembaga ketulenan tinggi. Ia digunakan terutamanya untuk salutan sputtering dalam proses pemendapan wap fizikal (PVD), mendepositkan filem tembaga berprestasi tinggi pada permukaan substrat.

1. Ketulenan Ultra Tinggi: Ketulenan bahan teras dikawal ketat pada 99.999% (5N) hingga 99.9999% (6N). Ketulenan melampau ini meminimumkan risiko kekotoran dimasukkan ke dalam filem, memastikan filem yang dimendapkan mempunyai kekonduksian elektrik dan haba yang sangat baik, kemuluran dan kestabilan, memenuhi keperluan ketat semikonduktor mewah, paparan dan salutan optik ketepatan.
2. Dimensi & Berat Boleh Disesuaikan: Kami menawarkan perkhidmatan yang boleh disesuaikan. Berdasarkan spesifikasi ruang peralatan sputtering pelanggan dan keperluan proses khusus, kami boleh membuat sasaran tembaga tersuai kepada saiz dan berat maksimum yang diperlukan, mencapai kecekapan salutan optimum dan penggunaan bahan.
3. Pembungkusan Teguh: Perlindungan tiga kali ganda memastikan pengangkutan yang selamat:
Perlindungan Teras: Bahan sasaran dibungkus dengan vakum dalam dua lapisan untuk mengasingkan kelembapan udara dengan berkesan, mencegah pengoksidaan dan mencegah pencemaran permukaan.
4. Perlindungan Kusyen: Pembungkusan vakum diisi dengan bahan kusyen buih mutiara (EPE) berprestasi tinggi untuk menyerap kejutan dan getaran, mencegah kerosakan fizikal.
5. Pengukuhan Kotak Luar: Lapisan paling luar disertakan dalam kotak kayu yang kukuh, memberikan sokongan struktur yang kuat dan ketahanan terhadap kesan luaran, memastikan pengangkutan global yang selamat.
6. Permohonan Utama: Direka untuk proses salutan sputtering seperti sputtering magnetron dan sputtering pancaran ion. Dalam persekitaran vakum yang tinggi, zarah bertenaga tinggi mengebom bahan sasaran, memercikkan atom kuprum dari permukaan sasaran. Atom-atom ini kemudiannya dimendapkan pada substrat (seperti wafer silikon, kaca dan filem polimer), membentuk filem tembaga berfungsi yang seragam, padat dan sangat melekat.